导电率测定用电极
涂于石英基板上的铂金端子作为电流提供电极和电位差探测电极。测定电位差的电极的间距,可在 40 µm( 微米 ) 至250 µm 之间进行调整。在导电性高分掺杂而产生的绝缘体-金属过渡的原位测量时,低掺杂域的绝缘相导电率用2端子测量法,高掺杂域的金属层用4端子测量法。
- 使用四端子测量法进行高精密薄膜厚度测量和电阻率的测量
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作为载流电极和电势差测量电极的各个铂金属端子沉积在熔融石英基板上,通过连接端子的改变,电势差测量用电极之间的间距,可以在40 µm 至250 µm 之间进行调节。
电导率测定用电极的铂金属层(白金层)厚 900 Å, 下面有一层100 Å 厚的汰金属粘合层,因而在石英基板上涂层的总厚度为1000 Å 。电势差测量电极宽度为10 µm,电极之间的间距是10,20,30,50和100 µm。另外,载流电极的宽度为1.0 mm电极,两电极之间的间距为470 µm。
电极结构示意图中, A和H分别为电流承载电极端子,B至G为电势差测量电极端子。改变B至G之间的端子连接,电势差测量电极之间的间距可以在10 µm(最小值)至250 µm(最大值)之间变换。
各个电极端子之间的距离(µm)
A | B | C | D | E | F | G | H | |
A | - | - | - | - | - | - | - | 470 |
B | - | - | 40 | 140 | 10 | 80 | 250 | - |
C | - | 40 | - | 90 | 20 | 30 | 200 | - |
D | - | 140 | 90 | - | 120 | 50 | 100 | - |
E | - | 10 | 20 | 120 | - | 60 | 230 | - |
F | - | 80 | 30 | 50 | 60 | - | 160 | - |
G | - | 250 | 200 | 100 | 230 | 160 | - | - |
H | 470 | - | - | - | - | - | - | - |